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第455章 浸潤式光刻機技術


  一直沉默不語的林本堅突然說道:“楊總,光刻機的光源一直停滯在193納米的波長,各大光刻機公司絞盡腦汁,也無法將波長縮短到157納米,所以我想嘗試遊說光刻機廠家,另闢蹊徑,轉換設計理念,把傳統的空氣為介質的乾式微影技術,改為浸潤式光刻工藝……”

  楊墨心頭一動,幾乎脫口而出道:“浸潤式光刻工藝?”

  林本堅連忙解釋道:“楊總,浸入式光刻方案並非心血來潮,我在ib

  “那依你之見呢?”楊墨饒有興趣的問道。