第503章 時間就是金錢！特種氣體之難

　　西蓉北郊。

　　西南特種電氣工業公司。

　　雖然六月末的西蓉，天氣十分酷熱。

　　但為了熱烈歡迎，遠道而來的櫻花半導體考察團。

　　身為公司總經理的汪學斌。

　　還是無懼炎熱，帶著公司高層，在辦公樓前列隊等候。

　　之所以如此熱忱。

　　當然因為他對這一次的合作交流，抱有非常大的期望。

　　公司雖然從事工業氣體研製生產很多年。

　　但過去市場需求有限、銷售業績不高，也不太可能下大力氣進行相關技術研究。

　　誰也沒想到……

　　這兩年龍國的製造業，像是坐上了火箭似的，增長勢頭無比迅猛。

　　金屬冶煉、石油化工、機械製造、食品加工、電子及半導體、醫療器械……

　　因為工業生產中不少環節，是不能直接暴露於空氣之中，需要特殊氣體參與反應。

　　所以製造業越發達，對工業氣體的需求量就越大。

　　如果只是需要常見的氦氣、氮氣、氧氣、二氧化碳等等這些。

　　汪學斌還不至於那麼頭疼。

　　畢竟這些常用工業氣體的加工製備，技術工藝早就相對成熟。

　　可問題是……

　　龍國的電子信息產業，發展速度太迅猛了。

　　為了追求高精度、高質量、高性能，電子信息產業，對工業氣體不僅需求量很大，要求還很高。

　　哪怕只是生產液晶顯示面板所需要的氮氣、氦氣、氧氣和氫氣，純度都要比食品工廠的高很多。

　　於是乎。

　　有關部門就將工業氣體，分成了大宗氣體和特種氣體這兩大類。

　　將用於滿足冶金、化工、機械製造等普通工業生產的大宗氣體研製任務，從公司剝離了出去。

　　讓公司專門負責，研究生產用於滿足集成電路、液晶面板、醫療儀器、芯片製造的特種氣體。

　　這個任務，真是光榮又艱鉅啊！

　　光榮在於研製特種氣體，有力支撐龍國的高端製造業發展，是利國利民的一件大好事。

　　艱鉅在於特種氣體，是真不好研製。

　　就拿生產芯片來說。

　　從最開始製造硅片，將高純度硅拉單晶、磨外圓、切片、倒角、磨削等等製造成晶圓，就需要大量使用高純度的氯化氫、氫氣和氬氣了。

　　而開始進行光刻加工的時候，需要氟氣、氪氣、氖氣等好幾種特種氣體。

　　刻蝕清洗，除了常用的幾種特種氣體，還需要溴化氫、氯化氫、二氟甲烷、三氯化硼、六氟化硫等等二十幾種。

　　離子注入的時候，又需要氟化砷、四氟化硅、氙氣等。

　　摻雜之時要乙硼烷、砷化氫，以及不少含硼磷砷的三族及五族原子之氣。

　　除此之外，還有很多工藝環節，都還需要相應的特種氣體。

　　林林總總加一起。

　　要想生產高性能的合格芯片，竟然需要一百多種特種氣體。

　　需要的特種氣體種類多，都還不算什麼難事。

　　真正讓人頭疼的，是這些特種氣體的純度要求太高了。

　　用於普通工業生產的大宗氣體，純度只要達到了99.99%，就已經很不錯了。

　　而用於電子科技產品的呢？

　　哪怕只是生產6寸以下、不低於0.25微米線寬的晶體管和晶閘管，純度都要百分之九十九點九九九。

　　而要生產大規模集成電路、特殊電子元器件、納米級線寬大尺寸芯片，需要的純度，必須高於百分之九十九點九九九九。

　　特種氣體的純度越高，越有利於芯片加工生產，可以大大提高芯片的良品率。

　　可是純度已經很高的氣體，再想進一步的提純，難度實在是太大了。

　　就像一張滿分是一百的試卷。

　　從六十分及格，努力學習考到九十分並不難，因為提升空間很大。

　　再努努力，從九十分提升到九十五分，也並非不可能。

　　但九十五分以上，想一題不錯的考個滿分，就真是太難了。m..m

　　什麼電解法、化學法、吸附法、精餾法等等，各種方式方法看似不少。

　　但不同的方法，需要不同的設備和工藝，裡面的門道實在是太多了。

　　就像同樣是電解法，需要的直流電應該多大電流？多高電壓？作用多長時間才能確保氧化還原最佳？

　　而用化學法提純六氟化鎢、三氯氫硅等，又需要用什麼樣的催化劑、在怎樣的容器中進行反應？

　　而且吸附法制備六氟丁二烯、高純砷烷等氣體，吸附裝置、吸附材料、吹掃設備等等，也需要很考驗技術功底。

　　至於膜分離、氣體分離、冷凍分離、催化分離等等手段，對沒從事過相關研究的人來說，那就更是難以想象的困難了。www..m